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首頁(yè)產(chǎn)品與服務(wù)工業(yè)氣體干燥凈化系統(tǒng)

多晶硅行業(yè)尾氣凈化裝置

多晶硅生產(chǎn)過(guò)程尾氣中氯硅烷、氯化氫和氫氣的分離回收。

產(chǎn)品介紹

       在多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中,三氯氫硅(SiHCl3)合成、氫還原和四氯化硅(SiCl4)氫化等工序中,副產(chǎn)的尾氣,含有氫氣(H2)、氯化氫(HCl)、二氯氫硅(SiH2Cl2)、三氯氫硅(SiHCl3)和四氯化硅(SiCl4)的尾氣。我公司針對(duì)此種尾氣氣源進(jìn)行實(shí)驗(yàn)研究,開(kāi)發(fā)了氯硅烷和氯化氫專(zhuān)用吸附劑及配套的吸附分離工藝,可以將尾氣中的氯硅烷、氯化氫以及氫氣進(jìn)行回收,凈化后尾氣中的氯硅烷含量降低到ppm乃至色譜檢測(cè)不出,實(shí)現(xiàn)氯硅烷的循環(huán)利用,降低了原料消耗,提高企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益。采用該技術(shù)后,只需對(duì)流程適當(dāng)調(diào)整,就可將氫氣中的微量組分如CO、CO2、CH4、N2、O2等微量雜質(zhì)脫除,大大提高氫氣品質(zhì),使多晶硅的產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定提高。
    公司可根據(jù)用戶(hù)目前裝置實(shí)際情況,可對(duì)現(xiàn)有工藝進(jìn)行局部改進(jìn)或全新設(shè)計(jì),達(dá)到理想的凈化回收效果。
    該技術(shù)具有完全的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),效果優(yōu)于進(jìn)口技術(shù),可為用戶(hù)帶來(lái)經(jīng)濟(jì)效益、環(huán)保效益。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 工藝流程簡(jiǎn)單、運(yùn)行穩(wěn)定;
2. 吸附劑分離系數(shù)高,氯硅烷回收率高;
3. 撬塊設(shè)計(jì),裝置占地;
4. 氯化物、氫氣純度高、質(zhì)量穩(wěn)定;
5. 比吸收法及低溫法,腐蝕小,投資省;
6. 可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)運(yùn)行,遠(yuǎn)程監(jiān)控,無(wú)人值守;
7. 可根據(jù)用戶(hù)實(shí)際情況,進(jìn)行工藝定制設(shè)計(jì)。

統(tǒng)一服務(wù)熱線(xiàn):4001167986

國(guó)際銷(xiāo)售

13716711379

sales@fdzd.com.cn

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